MEMS 자이로스코프의 온도 변화에 따른 복조 위상 오차 식별 및 보상

2026-05-09

MEMS 자이로스코프의 고정도 단계 오류 식별

MEMS 자이로스코프는 관속 탐색의 핵심 각속도 센서이며, 저비용, 작은 크기, 낮은 전력 소비로 평가됩니다. 그들은 코리오리스 원리에 따라 작동합니다.전기 정적 드라이브 및 용량 감지 기능을 사용하여, 그리고 질량 스프링 덤퍼 시스템으로 모델링 될 수 있습니다. 그러나 그들의 성능은 주파수 분화, 경직성 결합,그리고 특히 온도로 인한 탈조달 단계 오류, 이는 제로율 생산 (ZRO) 을 악화시킵니다.

베이한대학교, 제강대학교, 난징과학기술대학 연구팀은 추가적인 기기가 필요하지 않은 고정도 단계 오류 식별 방법을 제안했습니다.정사전압을 적용하여 정사변형 교정 전극, demodulation 단계 오류는 온도 범위 전체에서 식별 할 수 있습니다. 실험은 일관성과 정확성을 확인했습니다.

이 방법은 정사각형 전압에 의한 동등 각도율 (QIR) 에 기초하여 4개의 쿼드 매스 자이로스코프 (QMGs) 를 사용하여 코리올리스 동원 동등 속도 (CIR) 접근법과 비교되었습니다.온도별 테스트는 QIR 보상으로 더 작은 ZRO와 더 나은 반복성이 나타났습니다..

키:

단계 보상 RMSE 54%~86% 감소
ZRO 반복성 35~95% 향상
비아스 불안정성 50~75%
앵글 무작위 행진 62%~69%

미래 작업은 자기 계정화, 실시간 단계 오류 식별을 목표로합니다.

논문 링크:

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